강의계획서
| 교과목코드 | SE230010 | 교과목명 | 플라즈마프로세스 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 이민욱 |
| 교수소속 | 반도체공학부 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | min.uk.lee@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 강의소개 |
| 2주차 | 플라즈마 정의 및 대표 사례 |
| 3주차 | 플라즈마 활용 기술 및 산업분야 |
| 4주차 | 플라즈마 발생 원리 |
| 5주차 | 플라즈마 해석체계 |
| 6주차 | 플라즈마 시뮬레이션 소개 |
| 7주차 | 플라즈마 전자기학 기초 |
| 8주차 | 중간시험 |
| 9주차 | 플라즈마 기초이론 |
| 10주차 | 플라즈마 유체이론 |
| 11주차 | 플라즈마 미시이론 |
| 12주차 | 플라즈마 공정장비 기술 I |
| 13주차 | 플라즈마 공정장비 기술 II |
| 14주차 | 플라즈마 공정장비 기술 III |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |